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X光检测系统高分辨率自动化X射线检测系统，应用于半导体和SMT检测，装备有开放式X射线管，全数字图像采集影像链以及CNC数控编程。性能参数系统放大倍数和分辨率
几何放大倍数可达2060倍
总放大倍数可达12800倍
细节分辨能力使用纳米射线管时可到200nm(0.2 μm)
密度分辨率0.5%

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